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            實時膜厚檢測儀

            簡要描述:產地類別 進口 應用領域 建材,電子,汽車,電氣 實時的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環,系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。

            • 產品型號:DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
            • 廠商性質:代理商
            • 更新時間:2023-07-27
            • 訪  問  量:826

            詳細介紹

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            概要

            實時的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環,系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。

            特征

            • 監測透明薄膜的厚度和高度,如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
            • 適用于等離子體頻譜分析。
            • 生產線使用內置軟件。
            • 終點檢測法的靈活應用。
            • *的加工特點。

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